Ужыванне нержавеючых трубак у паўправадніковай прамысловасці Нержавеючыя трубкі, асабліва высакачыстыя бясшвовыя трубкі з нержавеючай сталі (316L, 316L EP, BA), з'яўляюцца незаменным ключавым базавым матэрыялам на паўправадніковых вытворчых прадпрыемствах (Fab), выконваючы галоўным абра...
Ужыванне нержавеючых трубак у паўправадніковай прамысловасці
Нержавеючыя трубкі, асабліва высокачыстыя бясшвовыя трубкі з нержавеючай сталі (316L, 316L EP, BA), з'яўляюцца незаменным ключавым базавым матэрыялам на паўправадніковых вытворчых прадпрыемствах (Fab), выконваючы галоўным чынам задачы па транспарціроўцы звышчыстых газаў, хімічных рэагентаў і ўльтрачыстай вады.
Вытворчасць паўправадніковых чыпаў надзвычай адчувальна да забруджванняў:
1.Забруджванне часціцамі (Particle)
2.Забруджванне іёнамі металаў (Metal Contamination)
3.Забруджванне вільгаццю (Moisture)
4.Забруджванне арганічнымі рэчывамі (TOC)
Нават прымешкі нанаметровага ўзроўню могуць прывесці да шлюбу ўсёй пласціны.
Таму сістэма транспарціроўкі павінна валодаць:
1.Звышвысокай чысцінёй
2. Надзвычай нізкім узроўнем выдзялення прымешак
3.Каразійнай устойлівасцю
4.Адсутнасцю адукацыі часціц
5.Здольнасць да доўгачасовай стабільнай працы
І электрополированные (EP) трубкі з нержавеючай сталі 316L у цяперашні час з'яўляюцца асноўным рашэннем.
Асноўныя сцэнары прымянення:
1.Сістэмы падачы спецыяльных газаў
2.Сістэмы ультрачыстай вады
3.Сістэмы падачы хімічных рэагентаў
4. Вакуумныя сістэмы
Стандарты на нержавеючыя трубкі, шырока прымяняюцца ў паўправадніковай прамысловасці
| Найменне | Стандарт |
| Матэрыял | 316L |
| Стандарт | ASTM A269 |
| Стандарт звышвысокай чысціні | SEMI F20 |
| Апрацоўка паверхні | BA, EP |
| Шурпатасць | Ra ≤ 0,25 мкм |
| Спосаб зваркі | Арбітальная зварка |
| Клас чысціні | Клас 100/ISO 5 |
Хімічны склад нержавеючай сталі Марка сталі C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Хімічны склад нержавеючай сталі Марка сталі C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Сардэчнік з нержавеючай сталі для сілавых акумулятарных батарэй Прызначэнне: У вобласці сілавых а...
Тубус для ўвядзення эндаскопа (цвёрды эндаскоп) Прызначэнне: Асноўны корпус эндаскопа, усярэдзіне кот...
Іголка з нержавеючай сталі - высокадакладная танкасценная капілярная іголка Прызначэнне: З'яўляецца асноў ...
Нержавеючая трубка для медыцынскай фрэзы Галоўка фрэзы (рэжучая частка): Вырабляецца з нержав...
Хімічны склад нержавеючай сталі Марка сталі C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Хімічны склад нержавеючай сталі Марка сталі C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Таўстасценная капілярная трубка - Вобласці прымянення: Кантрольна-вымяральныя прыборы Сцэнары ...
Хімічны склад нержавеючай сталі Марка сталі C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
У галіне аўтамабільнай прамысловасці: 1.Сцэнарыі прымянення: Шырока прымяняюцца ў такіх ключавыя...
Камплектуючыя з нержавеючай трубкі для ультрагукавога хірургічнага гемастатычнага скальпеля...
Аўтэнітная нержавеючая сталь（Austenitic Stainless Steel）дзякуючы сваёй найвышэйшай каразіён...
Адмысловая трубка для які сшывае апарата Прызначэнне: Найважнейшы кампанент трубчастага медыцынскага шк...
